一、潤(rùn)滑皮膜技術(shù)

    精工開(kāi)發(fā)的一種名為“E-DFO”的潤(rùn)滑皮膜技術(shù)，具有皮膜耐用性高且不易污染真空環(huán)境的特點(diǎn)。該技術(shù)主要用于加工在滾珠絲杠（Ball Screw）和滾動(dòng)軸承的球形軌道面上由潤(rùn)滑油和吸著物構(gòu)成的潤(rùn)滑皮膜。與原來(lái)的“V-DFO”技術(shù)相比，皮膜耐用性可最大提高至20倍，而且還可將對(duì)真空環(huán)境的污染減少至一半以下。該公司將于2005年9月上市采用該技術(shù)的真空裝置用的滾珠絲杠、直線(xiàn)導(dǎo)軌副（Linear Guide）和滾動(dòng)軸承。

    E-DFO技術(shù)使用的潤(rùn)滑油具有分子量小、蒸氣壓比氟油更低的特點(diǎn)。因此，蒸發(fā)速度較慢，只有氟油的約1/1000。另外，作為吸著物使用的片狀PTFE（聚四氟乙烯）粉末在潤(rùn)滑劑上的吸著面積較大。因此，潤(rùn)滑皮膜的吸著能力更強(qiáng)，皮膜的保持強(qiáng)度更大。通過(guò)采用上述材料，延長(zhǎng)了皮膜的壽命，減少了有機(jī)材料的氣體生產(chǎn)量。

   該技術(shù)主要面向晶圓檢測(cè)裝置、光測(cè)量裝置、皮膜裝置、真空干涉測(cè)量?jī)x及鏡頭檢測(cè)裝置等。