作為世界上最大的多孔介質(zhì)空氣軸承產(chǎn)品獨(dú)立制造商，NewWay空氣軸承公司日前宣布其非接觸式多孔空氣軸承和鏡片修平裝置已經(jīng)獲得美國(guó)專(zhuān)利號(hào)為7,908,885-B2的授權(quán)。

    鏡片厚度的變化誤差已成為更高一級(jí)光刻解決方案進(jìn)行更清晰展示的限制性因素，因而，這種新方法可以降低工具的要求并提供更高的光刻方案。

    NewWay空氣軸承公司運(yùn)用其空氣軸承技術(shù)將氣壓均勻分布于成千上萬(wàn)個(gè)空氣管表面，以此承載上千公斤的載荷。同時(shí)，真空孔和溝槽組件可提供幾十公斤的氣壓，這足以將玻璃修平來(lái)抵抗氣體膜，并將之置于安全部位。這樣，隨著非接觸式精密區(qū)形成，最為平整的鏡片表面也加工完成。